新たな取り組み(環境商品)

CO2クリーニング

当社が手掛けるアメリカのCO2テクノジーメーカー は、医療、航空宇宙、半導体、歯科、産業用マイクロエレクトロニクス、光ファイバー、太陽エネルギー、宝石、衣服産業における CO2 ベースの精密洗浄システムのグローバル リーダーです。

用途半導体ウエハー、ディスプレイ、自動車部品、光ファイバー部品、医療機器、光学機器などの製造ラインに組み込まれて使用されます。リサイクルされた二酸化炭素を利用した精密な CO2 クリーニングで さまざまな基板、デバイスから溶剤、油、粒子状物質、クーラント、ほこりなどの不純物を除去します。
特徴結露、摩耗、残留物、接触なしに広範囲の粒子状物質を除去します。
メーカーCool Clean Technologies, LLC
ブランドOMEGA SYSTEM
対象光学、HDD、表面処理、エレクトロニクス、その他多数。

備考

◆薄い有機表面層を効果的に除去
◆CO2 粒子は硬度が低いため、研磨剤を使用しない洗浄プロセスが可能で、さまざまな基板に使用可能
◆小粒子高エネルギー洗浄で、サブミクロン粒子を除去、あるいは、大きな粒子を除去するための大きな粒子の高エネルギー洗浄
◆主要なプロセス変数は、さまざまなノズル、圧力、温度、および流量によって調整可能
◆1 MPa から 80 MPa の範囲の衝撃表面応力値で、最適な洗浄効果に調整